Spin Kisi Magni

Sputtering ta 'frekwenza intermedja hija wkoll tip ta' sputtering ta 'magnetron.

Hemm ħafna tipi ta ' magnetron sputtering, li jistgħu jinqasmu DC magnetron sputtering, radju frequencymagnetron sputtering, u magnetron sputtering ta ' frekwenza intermedja skond is-sors ta ' enerġija użat. Il-provvista ta 'enerġija użata fil-magnetron DC sputtering hija provvista ta' enerġija DC ta 'vultaġġ għoli, normalment 300-1000 V, li hija kkaratterizzata minn rata ta' sputtering mgħaġġla, prezz baxx, u manutenzjoni rħisa fil-perjodu aktar tard. Madankollu, miri tal-metall biss jistgħu jiġu sputtered. Jekk il-mira hija iżolatur, kif l-sputtering jimxi 'l quddiem, il-mira se jakkumula ammont kbir ta' ħlas, li jirriżulta fl-inkapaċità ta 'sputtering biex tkompli. Għalhekk, DC magnetron sputtering normalment jintuża għal miri tal-metall. Minħabba l-ispiża baxxa u l-istruttura sempliċi tagħha, tintuża ħafna fl-industrija. Il-frekwenza tal-provvista ta 'enerġija RF użata fl-RF magnetron sputtering hija ġeneralment 13.56 MHz, li jistgħu jsolvu l-problema li DC magnetron sputtering ma jistgħux sputter miri iżolanti. Il-karatteristiċi ta ' l-RF magnetron sputtering huma: bothinsulating miri u miri tal-metall jistgħu jiġu sputtered, u l-adeżjoni bejn il-film u s-sottostrat hija qawwija. Madankollu, minħabba l-istruttura u l-apparat kumplessi, il-prezz għoli tal-provvista tal-enerġija RF, l-ispiża għolja tal-manutenzjoni, ir-radjazzjoni lill-ġisem tal-bniedem, u l-ħtieġa għal netwerk ta 'tqabbil estern, mhuwiex adattat għall-produzzjoni industrijali. Magnetron sputtering ta 'frekwenza intermedja spiss jintuża għal sputtering reattiv biex jipprepara films komposti tal-metall. Minbarra l-argon, ammont żgħir ta 'gassijiet reattivi bħal nitroġenu, ossiġnu, eċċ huma miżjuda mal-kavità biex jiddepożitaw il-molekuli ta' dawn il-gassijiet reattivi ma 'l-atomi tal-materjal fil-mira. fuq is-sottostrat biex tifforma film kompost tal-metall. Peress li DC magnetron sputtering tintuża ħafna fl-industrija, it-tabella tal-magnetron sputtering tinkludi sistema ta 'vakwu, sistema ta' kisi ta 'sputtering, gass u sistema ta' kontroll.

Applikazzjoni

Parametru

Kumpanija tagħna

It-tags Popolari: spin kisi magna, Ċina, fornituri, manifatturi, fabbrika, personalizzati, jixtru, prezz, kwotazzjoni